Das MATQu-Projekt validierte Technologieoptionen zur Herstellung von SJJs in industriellen 300-mm-Prozessabläufen auf Siliziumbasis. Es befasste sich mit Substrattechnologie, supraleitenden Metallen, Resonatortechnologie, Durchkontaktierungen, 3D-Integration und Variabilitätscharakterisierung.