Unser institutsübergreifendes Technologieangebot im Beriech »MEMS Aktoren«

Das Technologieangebot »MEMS Aktoren« kann auf Kompetenzen zum Design, zur Herstellung von MEMS Aktoren, deren Charakterisierung und Test, sowie die Systemintegration zurückgreifen. Der in der FMD stark ausgeprägte Designpark lässt innerhalb dieser Technologieplattform vor allem Designs in folgenden Kategorien zusammenfassen: Component Design und IP, wie z.B. Analog und mixed signal Design und Design für Sicherheit und Zuverlässigkeit. Darüber hinaus existiert ein breites Wissensspektrum von grundlegenden Prozessen und Materialien, wie z.B. Bulk und Oberflächen Micromachining, Advanced Silicon Etching.

Die vernetzte Nutzung solcher Prozesse erlaubt die Forschung an Aktoren und die Entwicklung neuartiger Aktoren auf MEMS Basis. Das Kompetenzportfolio wird ergänzt durch Know-how im Bereich der Charakterisierung und Test von Materialien und Schaltkreisen. Hervorzuheben sind hier nichtzerstörende Untersuchungsmethoden an Materialien, analogen und digitalen Devices, Zuverlässigkeitsmessungen unter thermisch-mechanischer, wie auch thermisch-elektrischer Beanspruchung.

© Fraunhofer ISIT

MEMS-Aktorchips.

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