Unser institutsübergreifendes Technologieangebot im Bereich »MEMS Aktoren«

MEMS Aktoren

Die Technologieplattform »MEMS Aktoren« konzentriert sich auf Design, Materialien & Prozesse, Systemintegration & Materialcharakterisierung und ebenso auf Gerätetest & Zuverlässigkeitsbewertungen.

 

  • Design (analog und mixed-signal Design, Design für Zuverlässigkeit, funktionale Sicherheit und raue Umgebungen)
  • Material- und Prozessentwicklung für Massen- und Oberflächen-Mikromechanik, inklusive Epitaxie, Si-Ätzung (advanced Si-etching) und piezoelektronischen Materialien
  • Entwicklung von Geräten wie optische Scanner, räumliche Lichtmodulatoren (Spatial Light Modulators SLM) und akustischen Aktoren
  • Advanced Packaging, Mikrostrukturierung von Silizium und MEMS/NEMS-Packaging Methoden; z.B. hermetisches Glas-Packaging, Wafer-Level Capping können als ausgereifte Gerätetechnologien angeboten werden
  • Test und Charakterisierung von Materialien und Geräten (auch in rauen Umgebungen); zerstörungsfreie Analyse von Materialien ist in hervorragender Qualität weitgehend möglich, Geräte-Verschleiß kann bewertet werden, hetero-integrierte Systeme können charakterisiert werden
  • Zuverlässigkeitstests sind unter verschiedenen Belastungsszenarien durchführbar, Zuverlässigkeitsanalyse unter verschiedenen Belastungen ist möglich
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Flyer MEMS Aktoren

 

MEMS Mikropumpe – TUDOS

Die Fraunhofer EMFT verfolgte einen neuen innovativen Ansatz zur Heilung von Krebserkrankungen.

 

MEMS/CMOS Integration

Die Fraunhofer-Institute IMS und IPMS entwickeln in einer sehr leistungsfähigen Kooperation Prozesse zur Integration von Aktoren auf CMOS Backplanes.